氣體質(zhì)量流量計是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計的流量儀表.即利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系.該系列流量計的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當(dāng)流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

　　氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點：

　　1.傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了流量計的高精度計量

　　2.靈敏度高，能夠?qū)O小的始動流量就可以開始計量

　　3.在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了80:1甚至更高

　　4.全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

　　5.支持多種氣體的測量，允許客戶對某些特殊氣體進(jìn)行現(xiàn)場標(biāo)定

　　氣體質(zhì)量流量計同時實現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。